Op basis van hun werkingsprincipes kunnen druksensoren worden onderverdeeld in verschillende typen, waaronder keramische capacitieve, metaalcapacitieve, dunne-film rekstrookjes, rekstrookjes, siliciumpiëzoresistieve, siliciumcapacitieve en siliciumresonante typen. Hiervan bieden resonante druksensoren de hoogste nauwkeurigheid en bereiken ze een nauwkeurigheid tot 0,01% FS over het volledige temperatuurbereik (-40 graden tot 85 graden). Vanwege hun uitzonderlijke nauwkeurigheid worden ze veel gebruikt in toepassingen die een extreem hoge drukprecisie vereisen, zoals het meten van de oceaandiepte, drukreferentienormen, het meten van vluchtparameters van vliegtuigen en meteorologische monitoring. De redenen waarom siliciumresonante druksensoren een dergelijke uiterst nauwkeurige drukmeting bereiken zijn als volgt:
1. De kernstructuur van een siliciumresonante druksensor is een symmetrische dubbel-geklemde siliciumresonator. De resonantiefrequentie van de resonator verandert met de uitgeoefende druk. Omdat frequentie een intrinsieke eigenschap is van vaste stoffen, is deze minder gevoelig voor laagfrequente ruis en vertoont ze minimale variaties met de temperatuur. Dit natuurlijke filtereffect resulteert in een hoge signaal-tot-ruisverhouding.
2. De dubbel-geklemde resonatorstructuur zorgt ervoor dat wanneer de resonator trilt, de netto externe kracht nul is. Bovendien werkt de gehele resonator, dankzij het gebruik van MEMS-anodische verbindingstechnologie, in een vacuümomgeving, waardoor een hoge kwaliteitsfactor wordt bereikt.
3. Tijdens het ontwerpproces worden spanningsverlichtingsstructuren-ingebouwd in de thermisch gevoelige gebieden van de resonator om thermische spanning te minimaliseren. Dit vermindert de thermische spanning op de resonator aanzienlijk.
De siliciumresonante druksensorproducten van Xi'an Mihui Technology bereiken zeer-precieze drukmetingen met een nauwkeurigheid van 0,01% FS over het volledige temperatuurbereik. Ze bieden een ongeëvenaarde jaarlijkse stabiliteit van 0,01% FS en ondersteunen zowel frequentie-uitvoer als RS485 digitale uitvoer. Deze sensoren omvatten absolute drukmetingen van 100 kPa tot 1 MPa. De specificaties zijn als volgt:
Geïnteresseerden kunnen contact met ons opnemen via de informatie op onze website.
