Druksensoren worden gebruikt om de druk van vloeistoffen en gassen te meten. Veel voorkomende typen zijn onder meer MEMS-piëzoresistieve druksensoren van silicium, MEMS-siliciumresonante druksensoren, keramische capacitieve druksensoren, capacitieve metaaldruksensoren, druksensoren met gesputterde dunne-film en druksensoren met metalen rekstrookjes. Hun bedrijfsscenario's variëren afhankelijk van het werkingsprincipe.
MEMS Silicium piëzoresistieve druksensor:Dit is het meest gebruikte type druksensor. Het belangrijkste meetbereik bestrijkt 15 kPa tot 100 MPa, met een typische nauwkeurigheid variërend van 0,05% FS tot 3% FS. Het bereik van de bedrijfstemperatuur is doorgaans -55 graden tot 180 graden. Omdat het compatibel is met grootschalige halfgeleiderproductieprocessen-, is het goedkoop. Voor vloeistofmetingen zijn met olie gevulde isolatieverpakkingen vereist.
MEMS silicium resonante druksensor: Deze sensor maakt gebruik van een ingenieus ontwerp dat druk omzet in een verandering in de resonantiefrequentie van een micro-straal. Omdat de frequentie van de straal alleen afhangt van de structuur en temperatuur, en profiteert van filtereffecten, bereikt deze sensor een hoge uitvoernauwkeurigheid van maximaal 0,01% FS. Het belangrijkste drukmeetbereik bestrijkt 100 kPa tot 40 MPa, met een bedrijfstemperatuurbereik van -55 graden tot 85 graden. Vanwege de complexe productie en hoge kosten is het geschikt voor toepassingen die extreem hoge precisie vereisen, zoals halfgeleiderverwerking en oceaandieptemetingen.
Keramische capacitieve druksensor:Keramisch materiaal biedt een uitstekende slijtvastheid, waardoor deze sensor geschikt is voor het meten van druk in zand-slurrymengsels. Het biedt ook een goede corrosieweerstand, waardoor meting van corrosieve vloeistoffen zoals zwavelzuur mogelijk is. Bovendien zijn op keramiek gebaseerde druksensoren bestand tegen bevriezing van water-een functie die niet haalbaar is met MEMS-sensoren.
Metalen capacitieve druksensor:Deze sensor gebruikt een metalen diafragma als drukgevoelige beweegbare elektrode en vormt een condensator met een vaste elektrode. Wanneer er druk op het diafragma inwerkt, verandert de capaciteit tussen de elektroden, waardoor een druk-capaciteitsrelatie tot stand komt. Metalen membranen kunnen worden gemaakt van corrosiebestendige materialen zoals Inconel, en kunnen zeer lage drukken meten (0–1/10/100/1000 Torr). Bijgevolg heeft het brede toepassingen in vacuümmeting en speciale gasmeting in de halfgeleiderindustrie.
GesputterdTzijn-filmDruksensor en metalen spanningsmeter Druksensor:Beide sensoren zijn gemaakt van kracht{0}}gevoelig materiaal dat op een groot metalen oppervlak is gecoat, waardoor het product robuust en duurzaam is. Ze zijn geschikt voor hogedrukbereiken en toepassingen die een hoge betrouwbaarheid vereisen, zoals gele goederen, dieselmotoren en tunnelboormachines. Deze sensoren zijn niet eenvoudig te vervaardigen tot een absolute druksensor en kunnen doorgaans maximale bereiken tot 200 MPa of hoger bestrijken. De eerste afbeelding hierboven toont een gesputterde dunne-filmsensorkern, terwijl de tweede afbeelding een metalen rekstrookkern toont.
Om de prestaties volledig te kunnen benutten, moet de selectie van een druksensor gebaseerd zijn op de werkelijke bedrijfsomstandigheden. Mihui Technology is gespecialiseerd in druksensoren op basis van verschillende principes en biedt volledige ontwerp-, productie- en productiemogelijkheden om klanten de meest geschikte oplossingen te bieden. Welkom om ons te contacteren als u geïnteresseerd bent:Telefoonnummer: +8618066965135; E-mail: mihuitec@gmail.com
